Технологічною особливістю цих нещодавно розроблених мікроскопів є використання інтерферометрії білого кольору, що робить їх особливо універсальними та точними. При цьому забезпечується роздільна здатність до 0,25 мкм. Оптика мікроскопа зі збільшенням 10x та 20x, розроблена Nikon, охоплює діапазон від 25 до 800 л/см (60-2000 lpi).

Алгоритм роботи з мікроскопом дуже простий і не потребує від операторів спеціальних знань. Процедура сканування з використанням даних мікроскопів, включаючи побудову тривимірного зображення займає менше 10 секунд. При оцінці відображаються всі відповідні дані: глибина комірки, об’єм, кут, якість/шорсткість поверхні, товщина стінки, кут розкриття та багато іншого. Вимірювальна система постачається відкаліброваною. За потреби можна придбати сертифікований MicroDynamics калібрувальний валик, який буде служити як зразок для перевірки системи. Система працює під управлінням Windows 10 Professional та використовує USB 3 для передачі даних.